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日本CANON ANELVA真空計M-311HG-SP/M-311HG-RS
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南京易鳴銷售日本CANON真空計、離子規(guī) 原裝正品 品質(zhì)保證!
產(chǎn)品品牌：日本CANON
產(chǎn)品名稱：真空計、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號如下所示：
特長:
ワイドな圧力測定範(fàn)囲
10-7Pa～10Paまで、超高真空側(cè)の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領(lǐng)域まで測定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信號出力は、100msec以內(nèi)と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設(shè)定モード
高圧力領(lǐng)域側(cè)での使用時のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能
用途:
生産用真空裝置の圧力測定
半導(dǎo)體スパッタリング裝置の圧力測定
各種真空裝置
規(guī)格尺寸：
型 名 イオンゲージ
M-311HG-SP M-311HG-RS
圧力測定範(fàn)囲 1×10-7～10Pa
入力電圧 DC20～28V
消費電力 12W
アナログ出力 0～10V －
セットポイント 2點リレー出力
インターフェース － RS485
入出力コネクタ Dsub-9（Male）
最大ケーブル長 200m（1mm2）
使用溫度範(fàn)囲 5～50℃
保存溫度範(fàn)囲 -20～70℃
センサ－型名 ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ）
センサー材質(zhì)（主要部） フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法（mm） 110×70×50
フランジ形狀 NW16, NW25, ICF34, ICF70
保護規(guī)格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応
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